内田、市村、荒井: "SOI基板へのリンとボロンの拡散シュミレーション"信学技法(Tech,Report of IEICE). SDM99-138. 79-84 (1999)
内田、市村、荒井: "SOI基板へのリンとボロンの拡散シュミレーション"信学技法(Tech,Report of IEICE). SDM99-138. 79-84 (1999)
复制标题
Uchida、Ichimura、Arai:“磷和硼扩散到 SOI 衬底中的模拟”技术,SDM99-138 (1999) 报告。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: