各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
复制标题
各种成膜硅片的辐射热特性测定
DOI：
--
复制
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
山口天和
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
菊田和重;石川温士;佐々木隆史;菱沼孝夫;近久武美;宮田敏光;山口天和
