軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計
軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計
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考虑离轴物体的EUV多层镜光学设计
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
相澤駿介,豊田光紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
脇俊太郎;陳軍;豊田光紀;相澤駿介,豊田光紀
