As, P, B注入によるGe基板のアモルファス化
As, P, B注入によるGe基板のアモルファス化
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As、P、B注入Ge衬底非晶化
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
芝原健太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長田光生;福永哲也;芝原健太郎
