Y.Yamamoto et.al.: "Effect of dilution gases on Si atom and SiHx^+(x=0-3)in ECR SiH_4 plasma" Proc.of 3rd int.conf.reactive plasmas. 449-450 (1996)
Y.Yamamoto et.al.: "Effect of dilution gases on Si atom and SiHx^+(x=0-3)in ECR SiH_4 plasma" Proc.of 3rd int.conf.reactive plasmas. 449-450 (1996)
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Y.Yamamoto 等人：“稀释气体对 ECR SiH_4 等离子体中 Si 原子和 SiHx^ (x=0-3) 的影响”Proc.of 3rd int.conf.reactive Plasmas。
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