Fabrication and characterization of high aspect ratio microcoils using silicon lost molding process
Fabrication and characterization of high aspect ratio microcoils using silicon lost molding process
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使用硅消失模工艺制造高纵横比微线圈并表征
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Jiang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Tanaka;K.Suzuki;K.Nishizawa;T.Miki;K.Kato;T.Ono;H.Seki;Y.Jiang
