S.Miyazaki et al.: "Dynamic Characteristics of Diaphragm Microactuators Utilizing Sputter-deposited TiNi Shape Memory Alloy Tin Films"Materials Science Forum. 394-395. 467-474 (2002)
S.Miyazaki et al.: "Dynamic Characteristics of Diaphragm Microactuators Utilizing Sputter-deposited TiNi Shape Memory Alloy Tin Films"Materials Science Forum. 394-395. 467-474 (2002)
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S.Miyazaki 等人：“利用溅射沉积 TiNi 形状记忆合金锡膜的膜片微执行器的动态特性”材料科学论坛。
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