不同腐蚀工艺对单晶Ge位错密度与微观形貌的影响
不同腐蚀工艺对单晶Ge位错密度与微观形貌的影响
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DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张逸飞
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李金乐;李珊;杨晓京;马一鸣;张逸飞
