超音速フリージェットPVD法によるSi導波層を有する磁気光学導波路の製作
超音速フリージェットPVD法によるSi導波層を有する磁気光学導波路の製作
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超声速自由喷射PVD法制备硅波导层磁光波导
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
湯本敦史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
道野司;横井秀樹;湯本敦史
