エッチング条件によるβ-Ga2O3表面形態への影響
エッチング条件によるβ-Ga2O3表面形態への影響
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刻蚀条件对β-Ga2O3表面形貌的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森山裕貴，新海聡子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永澤幹太;深瀬晶予;森 翔平;荒川元孝;八代 諭;石垣 泰;金井 浩;森山裕貴，新海聡子
