有限要素解で制御されたMDによる単結晶Siの切削メカニズム解析
有限要素解で制御されたMDによる単結晶Siの切削メカニズム解析
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有限元控制MD切割单晶硅机理分析
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
稲村豊四郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宍倉由記子;大久保正慈;伊藤正樹;武澤伸浩;稲村豊四郎
