極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発―光学系の改良―
極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発―光学系の改良―
复制标题
使用超小直径光纤探头的精细三维形状精度测量系统的开发 - 光学系统的改进 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
村上洋，甲木昭雄，佐島隆生，吉田一朗，浜野康雄，本田裕，内山晃介
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hiroshi MURAKAMI;Akio KATSUKI;Takao SAJIMA;Takuya SUEMATSU;村上洋，甲木昭雄，佐島隆生，吉田一朗，浜野康雄，本田裕，内山晃介
