Hiroharu Kawasaki: "Study on Growth Processes of Particles in rf SiH_4 Plasmas" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes. 3. 351-352 (1997)
Hiroharu Kawasaki: "Study on Growth Processes of Particles in rf SiH_4 Plasmas" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes. 3. 351-352 (1997)
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Hiroharu Kawasaki:“rf SiH_4 等离子体中粒子生长过程的研究”Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes。
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