3次元バルクCVD成長による単結晶ダイヤモンドの結晶品質向上
3次元バルクCVD成長による単結晶ダイヤモンドの結晶品質向上
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通过 3D 块状 CVD 生长提高单晶金刚石的晶体质量
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
茶谷原昭義
中科院分区:
文献类型:
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作者:
嶋岡毅紘,山田英明;坪内信輝;杢野由明;茶谷原昭義