三次元積層時の局所応力がMOSFETの特性に与える影響
三次元積層時の局所応力がMOSFETの特性に与える影響
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三维堆叠过程中局部应力对MOSFET特性的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中徹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木野久志;Murugesan Mariappan;Jichel Bea;李康旭;福島誉史;小柳光正;田中徹
