Y.Suda: "Migration-Assisted Si Sub-Atomic-Layr Epitaxy from Si_2H_6" J.Vac. Sci. Technol.A15. 2643-2468 (1997)
Y.Suda: "Migration-Assisted Si Sub-Atomic-Layr Epitaxy from Si_2H_6" J.Vac. Sci. Technol.A15. 2643-2468 (1997)
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Y.Suda：“Si_2H_6 的迁移辅助硅亚原子层外延”J.Vac。
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