工具鋼に成膜した島状ナノ構造を有するTiN薄膜の摩耗特性
工具鋼に成膜した島状ナノ構造を有するTiN薄膜の摩耗特性
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工具钢上岛状纳米结构TiN薄膜的磨损特性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中谷正憲，花木聡;内田仁
