N.Miyano, K.Tagaya, K.Kawase, K.Ameyama, S.Sugiyama: "Application of MA-SPS Method for Fabrication of Microstructures Using LIGA Process"J. The Society of Materials Science Japan. 783-788 (2003)

N.Miyano, K.Tagaya, K.Kawase, K.Ameyama, S.Sugiyama: "Application of MA-SPS Method for Fabrication of Microstructures Using LIGA Process"J. The Society of Materials Science Japan. 783-788 (2003)
复制标题

N.Miyano、K.Tagaya、K.Kawase、K.Ameyama、S.Sugiyama:“MA-SPS 方法在使用 LIGA 工艺制造微结构中的应用”J。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献