パルスエネルギの多段階変化による単結晶炭化ケイ素の精密フェムト秒レーザ加工
パルスエネルギの多段階変化による単結晶炭化ケイ素の精密フェムト秒レーザ加工
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利用脉冲能量多步变化对单晶碳化硅进行精密飞秒激光加工
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
服部隼也，伊藤佑介，徐弘，杉田直彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Hattori;Y. Ito;D. Veysset;K. Nakagawa;K. Nelson;N. Sugita;服部隼也，伊藤佑介，徐弘，杉田直彦
