水熱処理条件がフッ素系シリカ膜の水熱安定性に及ぼす影響
水熱処理条件がフッ素系シリカ膜の水熱安定性に及ぼす影響
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水热处理条件对氟化二氧化硅膜水热稳定性的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金指 正言，畑岡 直弥，長澤 寛規，都留 稔了
中科院分区：
文献类型：
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作者：
都留稔了;森山教洋;長澤寛規;金指正言;M. Kanezashi;金指 正言，畑岡 直弥，長澤 寛規，都留 稔了
