青柳誠司(三好弘己): "マイクロ超音波センサの開発に向けたPZT薄膜の多段階プロセスによる厚膜化"マイクロメカトロニクス学術講演会(日本時計学会主催)講演論文集. (発表予定). (2000)
青柳誠司(三好弘己): "マイクロ超音波センサの開発に向けたPZT薄膜の多段階プロセスによる厚膜化"マイクロメカトロニクス学術講演会(日本時計学会主催)講演論文集. (発表予定). (2000)
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Seiji Aoyagi (Hiromi Miyoshi):“通过多步骤工艺增厚 PZT 薄膜,用于开发微型超声波传感器”微机电一体化学术会议论文集(由日本钟表协会主办)(演讲预定)。 2000))
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