中川恭彦: "スパッタ法による配向性Ta_2O_5薄膜の作成" 応用物理学会研究発表会. (1989)
中川恭彦: "スパッタ法による配向性Ta_2O_5薄膜の作成" 応用物理学会研究発表会. (1989)
复制标题
中川泰彦：“溅射法制备定向Ta_2O_5薄膜”日本应用物理学会研究报告（1989）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
