Siの結晶成長界而の形状変化

Siの結晶成長界而の形状変化
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Si晶体生长过程中的形状变化

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
宇田聡
宇田聡
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
藤原航三;東海林雅俊;後藤頼良;宇佐美徳隆;沓掛健太朗;中嶋一雄;宇田聡

文献摘要

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