SUS304ステンレス鋼のスパッタエッチングによって形成した円錐状およびリング状突起物層の変形挙動
SUS304ステンレス鋼のスパッタエッチングによって形成した円錐状およびリング状突起物層の変形挙動
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SUS304不锈钢溅射刻蚀圆锥形和环形凸出层的变形行为
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
顔 旭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中佐啓治郎;顔 旭
