Pulse radiolysis in concentrated poly(4-hydroxystyrene) solution: Acid generation dynamics in EUV and electron-beam chemically amplified resist
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浓聚（4-羟基苯乙烯）溶液中的脉冲辐射分解：EUV 和电子束化学放大抗蚀剂中的酸生成动力学
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Umegaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Okamoto;T. Ishida;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;K. Umegaki
