Fabrication and evaluation of assembled micro-tube resonator for mass measurement in flowing liquid

Fabrication and evaluation of assembled micro-tube resonator for mass measurement in flowing liquid
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用于流动液体质量测量的组装式微管谐振器的制作与评估

DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
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通讯作者：
and Takahito Ono
and Takahito Ono
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Mohammad Akita Indianto;Masaya Toda;and Takahito Ono

文献摘要

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