真空局所CVDプロセスにより形成された基板上ナノカーボン構造の物性評価
真空局所CVDプロセスにより形成された基板上ナノカーボン構造の物性評価
复制标题
真空局部 CVD 工艺形成的基底上纳米碳结构物理性能的评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
鈴木仁
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
田中秀吉;富成征弘;鈴木仁
