刻蚀转移掩蔽膜用单分散SiO_2纳米小球制备
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李鹏阳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王影;王权岱;肖继明;王莉;李鹏阳
