イオンプレーティング法により作製したアクチュエータ薄膜に対する過剰エネルギーの影響
イオンプレーティング法により作製したアクチュエータ薄膜に対する過剰エネルギーの影響
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过剩能量对离子镀法制备致动器薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,天野 真央,江崎 祐美子,松村 義人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mao Amano; Yumiko Ezaki; Kadek Fendy Sutrisna; Yoshihito Matsumura;天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,天野 真央,江崎 祐美子,松村 義人
