Evaluation of Scanner-Based Focus Finding Methods on Rough Surfaces
Evaluation of Scanner-Based Focus Finding Methods on Rough Surfaces
复制标题
粗糙表面上基于扫描仪的焦点寻找方法的评估
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Cvecek
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Cvecek
* 德国埃尔兰根Konrad-Zuse-Str. 3/5，91052，德国弗里德里希-亚历山大-埃尔朗根-纽伦堡大学光子技术研究所kristian. lpt.uni-erlangen.de ** 慕尼黑大学激光中心，Fakultät 06，Lothstrasse 34，80355，德国慕尼黑 * blz - Bayerisches Laserzentrum，Konrad-Zuse Str. 2-6，91052，埃尔兰根，德国 * 埃尔兰根高等光学技术研究生院，埃朗根-纽伦堡大学，Paul-Gordan-Str. 6，91052埃尔兰根，德国
* Institute of Photonic Technologies, Friedrich-Alexander-University of Erlangen-Nuremberg, Konrad-Zuse-Str. 3/5, 91052 Erlangen, Germany kristian.cvecek@lpt.uni-erlangen.de ** Laserzentrum Hochschule München, Fakultät 06, Lothstrasse 34, 80355, Munich, Germany *** blz – Bayerisches Laserzentrum, Konrad-Zuse Str. 2-6, 91052, Erlangen, Germany **** SAOT Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technologies , Friedrich-AlexanderUniversity of Erlangen-Nuremberg, Paul-Gordan-Str. 6, 91052 Erlangen, Germany