电容式 MEMS 加速度计电子辐照效应研究
电容式 MEMS 加速度计电子辐照效应研究
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
霍明学
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
刘超铭;蒋礼达;刘国文;马国亮;王天琦;孙凤云;霍明学
随着我国航天工程的技术发展，对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高，研究微电子机械系统(Micro electromechanical system，MEMS) 惯性器件的空间环境效应以保障其在轨长寿命和高可靠运行就显得尤为重要。针对国产电容式 MEMS 加速度计，通过 1 MeV 电子辐射试验，研究了高能电子辐照对电容式 MEMS 加速度计电学性能的影响规律及相关退化机理。结果表明，电子辐照注量对电容式 MEMS 加速度计的表头电容影响较弱、阻抗与辐照注量呈负相关.趋势;在低辐照注量下，电容式 MEMS 加速度计的 ASIC 电路正常工作，在高辐照注量下(3.0 ×1013 cm－2以上)出现明显的性能退化;电容式 MEMS 加速度计整表在 5.0 × 1012 cm－2的电子辐照注量下发生功能失效。