MEMS用微小構造部材の接着強度測定評価法の開発と評価
MEMS用微小構造部材の接着強度測定評価法の開発と評価
复制标题
MEMS微结构元件粘合强度测量与评价方法的开发与评价
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
肥後矢吉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石山千恵美;曽根正人;肥後矢吉
