Preparation of DLC films at atmospheric pressure by nanopulse plasma CVD

Preparation of DLC films at atmospheric pressure by nanopulse plasma CVD
复制标题

常压纳脉冲等离子体CVD制备DLC薄膜

DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
Proc. 18th Int. Symp. Plasma Chemistry (CD-ROM)
影响因子：
--
通讯作者：
T. Terazawa
T. Terazawa
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
Naoto Ohtake;近藤好正;T. Saito;Masanori Saito;T. Terazawa

文献摘要

相似文献