Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya: "New optical measurement technique for Si wafer surface defects using darkfield optical system with annular laser beam"Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent
Satoru Takahashi, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya: "New optical measurement technique for Si wafer surface defects using darkfield optical system with annular laser beam"Proceedings of 5th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent
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高桥悟、三好隆、高谷泰宏：“利用环形激光束暗场光学系统进行硅片表面缺陷的新型光学测量技术”第五届国际测量技术与智能研讨会论文集
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