高周波グロー放電スパッタ（rf-GDS）を利用したナノインデンテーション用 バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行
高周波グロー放電スパッタ（rf-GDS）を利用したナノインデンテーション用 バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行
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使用射频辉光放电溅射（RF-GDS）对大块样品进行纳米压痕表面处理方法的试验
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関戸信彰，大村孝仁，津﨑兼彰
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新田紀子;重松晃次;谷脇雅文;八田章光;関戸信彰，大村孝仁，津﨑兼彰
