次世代非球面レンズ製作のための傾斜角積分型ナノ精度形状測定装置の開発-測定原理と測定方法-
次世代非球面レンズ製作のための傾斜角積分型ナノ精度形状測定装置の開発-測定原理と測定方法-
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开发用于制造下一代非球面透镜的倾斜角度集成纳米级精度形状测量装置 -测量原理和测量方法-
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
江並和宏
中科院分区:
文献类型:
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作者:
東保夫;遠藤勝義;打越純一;久米達哉;江並和宏