Evaluation of lattice displacement in Mg- Implanted GaN by Rutherford backscattering spectroscopy

Evaluation of lattice displacement in Mg- Implanted GaN by Rutherford backscattering spectroscopy
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通过卢瑟福背散射光谱评估镁注入 GaN 中的晶格位移

DOI:
10.1016/j.nimb.2017.03.125
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发表时间:
2017
期刊:
Nuclear Intsrument and Methods in Physics Reserarch B
影响因子:
--
通讯作者:
T. Nakamura
T. Nakamura
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
N. Nishikata;K. Kushida;T. Nishimura;T. Mishima;K. Kuriyama;T. Nakamura

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