Damage and aluminum distributions in sic during ion implantation and annealing
Damage and aluminum distributions in sic during ion implantation and annealing
复制标题
离子注入和退火过程中 sic 中的损伤和铝分布
DOI：
10.1016/0168-583x(92)95063-w
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发表时间：
1992
影响因子：
1.3
通讯作者：
A. X. Kastilio
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Chechenin;K. Bourdelle;A. Suvorov;A. X. Kastilio
