Temperature-depended mechanical properties of microfabricated vanadium oxide mechanical resonators for thermal sensing
Temperature-depended mechanical properties of microfabricated vanadium oxide mechanical resonators for thermal sensing
复制标题
用于热传感的微加工氧化钒机械谐振器的温度相关机械特性
DOI：
10.7567/jjap.55.037201
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发表时间：
2016
影响因子：
1.5
通讯作者：
and T. Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Inomata;L. Pan;M. Toda;and T. Ono
