Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules

Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules
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具有多个低电感天线模块的无驻波大面积电感耦合等离子体

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proc. The International Union of Material Research Society - International Conference in Asian 2004 (IUMRS-ICA-2004), Hsinchu, Taiwan, November 16-18 (CD-ROM)
影响因子：
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通讯作者：
A.Ebe
A.Ebe
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y.Setsuhara;A.Ebe

文献摘要

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