リンの局在化が4H-SiC MOSデバイスの電気特性に与える影響

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磷定位对4H-SiC MOS器件电性能的影响

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发表时间:
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期刊:
影响因子:
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通讯作者:
冬木隆
冬木隆
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
赤木剛;矢野裕司;畑山智亮;冬木隆

文献摘要

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