Film Characteristics Derived by the Governing Parameter for Electromigration Damage at Metal Line End

Film Characteristics Derived by the Governing Parameter for Electromigration Damage at Metal Line End
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由金属线端部电迁移损伤控制参数得出的薄膜特性

DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
Proc.the 16th Computational Mechanics Conference No.03-02
影响因子：
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通讯作者：
M.Saka)
M.Saka)
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M.Hasegawa (K.Sasagawa;Y.Watanabe;S.Uno;M.Saka)

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