反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズム特性における製膜時圧力依存性
反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズム特性における製膜時圧力依存性
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反应溅射制备的氧化钨薄膜的电致变色性能对成膜过程中压力的依赖性
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
飯嶋佑斗,坪田祐貴,中野武雄,大家 渓
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K. Ohoyama;Y. Fukumoto;S. Uechi;Y. Kanazawa;K. Hayashia;N. Happob;K. Kimuraa;S. Hosokawac;T. Hadab;B. Paulusc;J. Stellhornc;M. Lederera;M. Haradad;Y. Inamurad;K. Oikawad;W. Matsuurae;F. Igae;K. Tsutsuif;P. Wellmanng;飯嶋佑斗,坪田祐貴,中野武雄,大家 渓