Effect of the substrate off-axis on the suppression of twin formation in CVD growth of (111)3C-SiC on (110)Si substrate
Effect of the substrate off-axis on the suppression of twin formation in CVD growth of (111)3C-SiC on (110)Si substrate
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(110)Si衬底上CVD生长(111)3C-SiC时衬底偏轴对抑制孪晶形成的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Nishino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Nishiguchi;M.Nakamura;K.Nishio;T.Isshiki;S.Ohshima;S.Nishino
