エッチング装置・薬液を必要としない，酸化物薄膜の微細加工技術
エッチング装置・薬液を必要としない，酸化物薄膜の微細加工技術
复制标题
不需要蚀刻设备或化学品的氧化物薄膜微加工技术
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
川江健
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kawai Tadashi;Nakai Ryosuke;Enokihara Akira;川江健
