Characteristics of Xenon Capillary Z-Pinch Extreme Ultraviolet Lithography Source Driven by Different dI/dt Discharge Current Pulses
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不同dI/dt放电电流脉冲驱动的氙毛细管Z箍缩极紫外光刻源特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et. al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Song;K. Iwata;Y. Homma;S. R. Mohanty;M. Watanabe;et. al.
