熱酸化SiへのFeナノ粒子の分散とナノポア形成過程
熱酸化SiへのFeナノ粒子の分散とナノポア形成過程
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Fe纳米粒子在热氧化Si中的分散及纳米孔形成过程
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
立溝 優羽，内藤 宗幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenji Shinozaki;Go Okada;Kiminori Sato;Ruize Yu;and Mario Affatigato;立溝 優羽，内藤 宗幸
