Effect of hydrogen radical on growth of μc-Si in hetero-structured SiCx alloy films
Effect of hydrogen radical on growth of μc-Si in hetero-structured SiCx alloy films
复制标题
氢自由基对异质结构SiCx合金薄膜中μc-Si生长的影响
DOI：
10.1016/s0040-6090(03)00128-7
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
S. Nonomura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Itoh;K. Fukunaga;T. Fujiwara;S. Nonomura
