Niフェリチンを用いた金属誘起横方向結晶成長によるSi薄膜内応力の増強
Niフェリチンを用いた金属誘起横方向結晶成長によるSi薄膜内応力の増強
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使用镍铁蛋白通过金属诱导横向晶体生长增强硅薄膜中的应力
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐々木実
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮地修輔;熊谷慎也;山下一郎;浦岡行治;佐々木実
