Al2O3基板上の非晶質炭素膜における sp3 割合の膜厚依存性
Al2O3基板上の非晶質炭素膜における sp3 割合の膜厚依存性
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Al2O3 基板上非晶碳膜中 sp3 比率的膜厚依赖性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
横谷尚睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村岡祐治;金山大志;岳強;脇田高徳;横谷尚睦
